二手 AXCELIS / FUSION I250B #9411422 待售

AXCELIS/FUSION I250B是为内存设备和IC的光刻处理而设计的曝光设备。它提供可靠、可重复和可重复的高分辨率和吞吐量曝光。它具有模块化的设计,使其能够轻松适应不同的工艺要求。FUSION I250B利用大量先进技术取得了令人印象深刻的成果。该系统在曝光过程中使用了两种不同波长的光，从而提供了优越的成像和分辨率能力。光源是一个强大的激光二极管阵列（LDA），产生高达900 mW的激光功率，能够从紫外线到可见范围的波长。使用二向色镜来切换两个光源之间的激光功率。此单元还利用全局快门,可最大程度地减少曝光过程中的模煳。该机具有各种特点,可精确控制曝光过程.它提供高达500 mW的可调激光功率,以及从0.5到1.5线/秒的可调线速。曝光时间从1ms可调至1000 ms，以微调过程的重复性。其全局快门可防止运动模煳,并提供光滑的覆盖范围和高产率的阵列设备。AXCELIS I250B具有晶圆照明的各种功能,例如动态聚焦和可调节的背面图像强度级别。该工具还使用了具有两轴运动的电动晶圆传输资产。这样可以提高吞吐量以及可靠的晶圆对准和可重复性。I250B设计用于多种化学物质和材料，如干湿抗蚀剂、光致抗蚀剂、蚀刻、抗蚀条、电镀和抗反射材料。它提供了极佳的均匀性、分辨率和覆盖范围，在整个和周围的晶圆。总体而言,AXCELIS/FUSION I250B是一种高级曝光模型,专为精度和可靠性而设计。其模块化设计和特点提供了卓越的吞吐量、分辨率和可靠的可重复性。凭借其令人印象深刻的性能,此设备非常适合内存设备和IC光刻处理。