二手 AXCELIS / FUSION I250B #9411423 待售
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AXCELIS/FUSION I250B是一种先进的曝光设备,旨在实现精确的设备制造和IC处理。这种卓越、全面的超大型场投影光刻系统提供了卓越的曝光性能和稳定性,能够更好地控制精密设备的制造。曝光单元配备了直线照明、大场无失真成像、极高效均匀的光罩标线、优越的真空能力以及两级还原光学器件。利用这种先进功能的光谱仪,FUSION I250B可以在各种基板上实现极其精确的成像。使用AXCELIS I250B曝光机的主要优点之一是其超大的现场曝光区。这样就可以在不牺牲特征分辨率或曝光均匀性的情况下曝光复杂的大型结构。这种高曝光精度的水平是通过使用优越的光罩标线和无失真成像来实现的,这使得在光刻过程中失真的可能性降至最低。此外,I250B还配备了两级还原光学器件,可让刀具实现低至0.1微米的曝光分辨率,提供可靠且可重复且设置最小的卓越曝光功能。曝光资产还具有卓越的真空能力,确保了高效、清洁的加工,提供了对设备制造过程的精确控制。AXCELIS/FUSION I250B还提供了一系列用户友好的功能,包括增强的操作和维护功能、先进的屏幕监控和报告、简单的配方设置以及主动故障诊断。此外,该模型还采用了多种安全功能,以提高安全性和可靠性。总体而言,FUSION I250B提供卓越的曝光性能和稳定性,能够更好地控制精密设备的制造。借助其增强的功能,用户可以在各种基板上实现极其精确的成像,分辨率低至0.1微米。AXCELIS I250B是设备制造和IC处理的理想选择。
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