二手 AXCELIS / FUSION I250B #9411424 待售
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AXCELIS/FUSION I250B是为半导体工业研究和制造应用而设计的高性能曝光设备。它配备了直观、用户友好的界面和先进的图像处理技术,确保了广泛应用的高吞吐量和统一性。FUSION I250B由曝光源、投影光学元件和步进/扫描仪系统组成。曝光源发出由编程模式生成的光模式,从而产生包含所有必要特征的像素字段。然后,投影光学器件以高精度和精确度将这种图样投射到基板表面上。步进/扫描仪单元提供了用投影图样绘制基板表面图样所需的精密扫描。这台机器确保在基板上精确、精确地形成图样。AXCELIS I250B的循环时间为6到10秒,最大吞吐量超过2000晶圆每小时。其分辨率优于1 µm,重复性在0.1 µm以内,适合平版印刷应用。I250B还具有坚固耐用的设计,其组件的曝光量超过一百万次。该工具还具有自动基板激活和对齐功能,有助于防止生产过程中出现任何问题。此外,它还具有深入的校准特征,有助于控制工艺参数和实现精确的模式放置。此外,它还具有直观的用户界面和高级图像处理功能,旨在降低曝光过程的复杂性。简而言之,AXCELIS/FUSION I250B是一种先进的曝光资产,能够在基板表面上实现统一、准确和精确的图案放置。其独特的特点,如用户友好的界面、自动基板激活以及深入的校准能力,使其成为市场上最可靠、最高效的曝光系统之一。
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