二手 AXCELIS / FUSION I250B #9411427 待售

AXCELIS/FUSION I250B是一种曝光设备，设计用于生产用于生产集成电路和其他电子元件的光刻印刷电路和微观特征。该系统利用先进的软件和硬件技术，为生产半导体器件提供了一个成本效益高、生产效率高的平台。机组核心为300 mm FUSION工具。AXCELIS曝光机利用Kalina和NEXUS技术的独特组合，以各种复杂的图桉形状和尺寸产生高分辨率图像。这包括超细线宽以及线性图桉、自由形态图桉和三维结构。该工具可以在最小步长为125 nm的情况下执行扫描曝光,并使用亚微米精度进行覆盖。该资产还包括许多先进的无掩码光刻系统，这些系统可以产生高保真图样，而无需传统的光掩码。其中包括基于坐标的近场成像技术C3D和能够提供高分辨率成像而无需光学透镜的溷合浸入。此外，该模型还被设计为迎合各种抗性材料和化学物质。这包括i-line和g-line光致抗蚀剂，以及接触抗蚀剂和蚀刻抗蚀剂。用户友好的控制设备使用户能够在广泛的能量和强度设置范围内控制剂量和暴露时间。该系统还简化了新流程应用程序的开发过程。这包括"Hybrid Job"单元和"Job Capture"等功能,该单元可对多阶段流程进行排序编程,并可快速设置流程。该机还具有自动模式测量和分析功能。该工具能够与其他生产设备一起自主操作。它为集成到其他现有工厂环境中提供了一个灵活的框架,并且是为满足最高质量标准而制造的。这确保了长期的可靠性和产品的可重复性,使FUSION I250B一种用于大容量生产阵列电路的可靠且经济高效的工具。