二手 AXCELIS / FUSION K250 #9411430 待售

ID: 9411430
优质的: 1996
UV Curing system 1996 vintage.
AXCELIS/FUSION K250是为各种设备技术的工艺开发和生产而设计的先进曝光设备。该系统采用经过优化和现场验证的数字机箱,提供卓越的准确性和可重复性,使客户能够以更高的速度和信心快速轻松地将最新的半导体设备推向市场。该设备采用集成的Accu-Litho数字光刻工艺和无与伦比的功能集,使客户能够在无与伦比的精度和可重复性水平上实现工艺产量。Accu-Litho数字光刻工艺的原理是使用一系列图样将所需的设计传递到基板上。这种方法确保所需的图样能准确地转移到基板上而不会出错。机器的独特功能集包括一个自动化的自校正工具,它可以调整曝光室的对齐方式和焦点,以确保获得最佳效果。此功能还具有允许快速调整腔室以适应设计变化的优点。FUSION K250配备了具有集成成像和自动晶片配准的高分辨率数字晶片级。这一功能使资产能够准确地注册底物,并通过其捕获的数字图像瞄准曝光。该型号还配备了先进的平台,不仅提供精确度,还提供对选定设备的高效访问。该平台还具有增强的功能,例如能够控制多个托盘和在流程步骤中实施更改以提高性能。AXCELIS K250有一个内置的高速数据收集单元,用于收集数据,以便对过程进行质量控制和优化。该设备采用可靠的线性和旋转运动驱动器,便于选择所需的配置,实现完美的精度和可重复性。最后,K250包括许多高级软件功能,例如自动对齐和焦点优化、全面的可追踪性,以及具有预测性维护功能的全面的设备和过程自动化控制。该系统还具有用户友好界面,可轻松访问设备的功能。AXCELIS/FUSION K250是一款先进的曝光机,旨在以更高的速度和信心将最新的半导体器件推向市场。其集成的Accu-Litho数字光刻工艺、先进的平台和用户友好的界面为客户提供了灵活性,使其能够以无与伦比的精度和可重复性快速实现工艺产量。
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