二手 AXCELIS / FUSION K250 #9411431 待售

AXCELIS/FUSION K250是专门为处理半导体晶片上的光电应用而设计的曝光设备。该系统提供一流的性能,可提供更高的晶圆吞吐量和出色的过程控制。曝光装置旨在为光电生产的各种应用提供超精确的过程控制和高吞吐量。它具有先进的可变源晶片处理站，提供高功率和一致的曝光。该机包括一个270微米的紫外线光束源和先进的光学元件，用于高精度曝光晶圆上的图样区域，以及一个集成的预对准器和扫描仪，以实现曝光的光学精确对准。FUSION K250凭借其高电流离子束源和高达700 W的加速度电压提供了优越的晶圆吞吐量。此外,其先进的副产品密封工具可确保清洁室操作的卓越环境保护。资产还具有用于晶片加载和卸载以及晶片/掩码对齐的高级操作功能。符合人体工程学的用户界面提供实时反馈、直观的图形界面和操作模型的简化过程。此外,设备的高级控制功能确保了最佳的暴露参数和过程稳定性。AXCELIS K250是光电生产要求的理想解决方桉。它为各种光电处理应用提供了卓越的过程控制、高吞吐量和先进的操作能力。其高性能的晶圆处理站，加上先进的技术和用户友好的界面，使其成为光电生产的终极曝光解决方桉。