二手 AXCELIS / FUSION K250 #9411432 待售

ID: 9411432
优质的: 2000
UV Curing system 2000 vintage.
AXCELIS/FUSION K250是为半导体工业设计的先进曝光设备。它具有250瓦高分辨率激光、精确可重复运动控制和高精度晶圆位置控制的空气轴承级。该系统能够产生精确的线型和尺寸不超过一微米的模式。FUSION K250能够在各种基板上提供高分辨率和精确的光刻图像,包括裸片或涂层晶片、PCB和溷合电路设备。该单元采用紧凑的设计,为用户提供了一个大的工作包络,便于对齐和处理。250瓦激光为最高质量的成像提供了明亮的光源。AXCELIS K250的运动控制非常精确、可重复,能够产生高达1微米大小的线型和线型。该机器提供变速控制,以确保准确和可重复的曝光。低速分辨率为100纳米,而高速分辨率为45微米。这使得即使是最错综复杂的模式也有可能以极好的精确度产生。K250的空气轴承级提供了卓越的晶圆定位精度和重复性,使得精确和精确的图样操作。该工具采用独特的双级设计,允许针对不同的后续过程步骤优化性能,从而实现最大的效率。AXCELIS/FUSION K250的XY级高度精确,在所有方向提供400毫米/秒的最大速度。该阶段由温度控制,在长时间暴露和高温环境下提供稳定一致的成像结果。此外,资产还支持多个阵列层和模式的自动对齐。总之,FUSION K250是为半导体工业设计的先进曝光模型。它配有250瓦高分辨率激光、精确可重复运动控制和高精度晶圆位置控制的空气轴承级。该设备能够产生精确的线型和线型,尺寸不超过一微米。它是寻求高质量、可靠和高效成像系统的制造商的理想解决方桉。
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