二手 AXCELIS / FUSION K250 #9411433 待售

AXCELIS/FUSION K250是专门为处理IC晶片而设计的曝光设备。该系统利用专有的步进电机单元和光学器件提供小至0.45 µm的高分辨率曝光。此外，步进电机能够高精度对准，达到1.5 µm的位置精度。该机采用模块化设计，便于各种应用进行升级和定制。因此，它是一种用于IC晶片高级处理的可靠工具。FUSION K250具有晶圆旋转级，带有4英寸（100毫米）空气轴承板，提供从5.5毫米x 5.5毫米到9.5毫米x 9.5毫米的扫描区域。晶片级还具有获得专利的垂直对准机构，确保精度和寿命。它还有一个独特的"空气围栏"工具，帮助控制步进电机和光学器件，为曝光过程提供稳定性。曝光资产装有高性能FUSION光学器件，具有44 μ m x 33 μ m的场尺寸、0.2秒的曝光时间、高达10W/cm2的曝光剂量、优越的粒子还原滤光片等特点。光学配置还促进了吞吐量的提高,使其成为生产操作的理想工具。AXCELIS K250的设计尽可能方便用户。它允许批处理和单端口配方加载,并具有直观的菜单模型,易于使用。此外,还提供了一个包含100多个曝光配方的库,从而可以轻松存储和检索设置。该设备有氧气和氮气两种基础工艺气体，用于用户定义的配方中，以防止光掩模污染。此外，系统还配备了先进的除湿装置，确保暴露的晶片表面干燥。除了业界领先的技术外,K250还提供出色的技术支持。专家工程师全天候待命,可以通过电话、电子邮件或公司网站联系。总体而言，AXCELIS/FUSION K250曝光机是IC晶圆加工的最先进的工具。它具有快速曝光时间、高分辨率成像、卓越的硬件和光学设备以及出色的支持。因此，它是IC生产运营的理想选择。