二手 AXCELIS / FUSION LC-6 #93376 待售

AXCELIS/FUSION LC-6是一款高精度、高生产率的曝光设备,专为当今芯片制造行业最复杂的光刻要求而设计。FUSION LC-6可用于Deep UV光刻、E-Beam光刻和直接写入过程，为用户提供无与伦比的准确性和灵活性。AXCELIS LC-6具有定制设计的映像模块,可在一系列过程和曝光设置中提供精确的性能。该系统能够在22 nm处产生1核脱光掩模缺陷，并能同步多个曝光头以实现高度精确的异构体阵列。LC-6配备了多项先进技术，以确保精确、可重复的结果。其中包括具有专有体系结构的统一性模块,以确保整个视场的统一性,以及专有的Wavefront Deviation算法,可根据失真情况进行调整。该单元还配备了FACSEL阵列工具，用于对背面图像进行精确、无损分析。AXCELIS/FUSION LC-6设计用于工艺公差和可重复性。可以针对特定应用程序调整一系列流程设置,并提供缺陷监控和曝光后流程分析,以进一步调整设置。还可以根据环境变化调整参数，在整个暴露过程中提供实时温度和湿度监测选项。FUSION LC-6坚固的光学设计确保了长期的性能，无DOE的设计可以最大限度地减少振动，提高线性，消除图像伪影。该机还设计用于最大限度地减少维护，具有光学器件的自动清洗、免维护驱动器，以及对日常操作的全远程软件支持。总体而言,AXCELIS LC-6是一种先进的高精度曝光工具,旨在满足芯片制造行业最苛刻的要求。资产强大、功能丰富的设计使其能够提供高度准确和可重复的结果,而其一系列先进技术则有助于最大限度地提高流程灵活性和可重复性。