二手 AXCELIS / FUSION LC-6B #9245539 待售

AXCELIS/FUSION LC-6B是用于光刻工艺的先进曝光设备，特别是激光扫描投影曝光系统。它利用激光、光源和数控扫描方法将精细图样和图像传输到基板上。该单元旨在帮助简化开发过程、提高产量和提高覆盖精度。它也非常通用，能够用于半导体、MEMS和IC制造，以及许多其他相关工艺。FUSION LC6B机器由高频、高分辨率的激光二极管提供动力，产生均匀、清晰的图像图样。这种激光器可产生高达4瓦的功率，并能以高达160 kHz的速率产生激光脉冲，使工具的工作范围非常广泛，光学通量也很高。这使得它非常适合较小的线宽、闸门和互连图样以及双打印等应用。AXCELIS LC 6B的激光源型号被设计为易于调节和定制，波长范围为365 nm至532 nm，可变脉冲持续时间为10 ns-1000ns。除此以外，该资产还包括精密光学、AE控制以及用于优化曝光过程的瞬时快门。这使得特定图样和图像尺寸的应用可以精确地应用于具有快速周转时间的光刻材料。AXCELIS/FUSION LC6B还配备了高分辨率投影光学器件和图像稳定模型，图像稳定能力高达0.1 μ m。此外,此设备能够产生出色的掩蔽模式和迭加作业,并提供多种模式和映像选项,并具有高级的实时用户界面,并且提交的各种作业包括JPG、BMP、TIF和TGA映像格式。AXCELIS/FUSION LC 6B的激光投影系统旨在减少成功光刻工艺所需的步数，同时提高整体工艺精度和控制。该单元还配备了多喷嘴机，方便快速基板喷涂，以及集成的硬件和软件，使曝光过程更加安全和受控。总体而言，AXCELIS LC-6B是一种功能强大、用途广泛的曝光工具，是在光刻工艺中实现高精度和高效率的宝贵资产。它包含高级功能,并提供各种自定义曝光过程的选项。LC6B具有快速的周转时间以及出色的图桉和图像质量，是寻求简化光刻工艺的人们的理想工具。