二手 AXCELIS / FUSION M 150 #193148 待售

AXCELIS/FUSION M 150是一款多方向曝光设备，旨在以快速可靠的方式支持多种模具尺寸。该系统提供来自石英、金属、塑料等各类基材的晶片平面。该装置具有非同寻常的两轴运动机器，可以快速、精确地对准基板。通过X-Y运动和旋转运动的结合，该工具为多模片晶片应用提供了一个灵活的解决方桉。FUSION M 150资产利用强大的模块化体系结构,对曝光过程提供高级控制。它由两个Step-Motor线性伺服电动机提供动力，具有先进的可编程矢量驱动器，能有效地处理高速基板运动。其独特的设计为所需的曝光过程提供了最大程度的控制和灵活性，并且完全可配置以适应每种基板的要求。该型号还配备了获得专利的可变压力设备，为管理所需的曝光均匀性提供了终极解决方桉。利用其可调压力，该系统可以保持最佳的压力水平，同时消除基板翘曲的影响。该装置还具有一个双区域控制机，可独立控制基板顶部和底部表面的压力。AXCELIS M150还配备了高级模具映射工具,可为操作员提供整个图像的完整元数据摘要或跨所有基板面的模具。这有助于确保曝光过程的准确性和一致性。该资产还能够实现广泛的曝光角度。它的高性能光学元件选择允许以0°到60°的角度曝光,从而实现更大的对比度和分辨率。这使得它适用于各种互连和其他电路元件的制造。AXCELIS/FUSION M150完全可定制,以满足客户的个人需求并提供卓越的性能。对于任何具有多种设计要求的基板表面,它都是理想的选择。它能够准确、一致地满足要求苛刻的应用程序的需求，使其成为任何应用程序的完美多方向曝光模型。