二手 AXCELIS / FUSION M 150 #9095706 待售

AXCELIS/FUSION M 150是一种临界维度（CD）计量曝光设备，其设计和开发目的是确保用于半导体晶圆测试和加工的光刻曝光的可重复性。该系统使用先进的激光照明光学器件来产生均匀稳定的曝光轮廓。它具有较低的入门剂量水平、精确的CD测量和高度自动化的操作。FUSION M 150由直观的图形用户界面（GUI）和图形对象导向工具提供支持,允许灵活的曝光配方。一种有效的算法能够对图桉化晶圆地形进行精确的CD控制，并具有可追溯的质量控制结果。因此,它提供了改进和更快的平均每晶片时间吞吐量。AXCELIS M150还提供了改进的均匀性和稳定性较低的模式缺陷，和更高的收益率。该单元采用基于体积模型重建的先进的自适应DoE（实验设计），以达到最佳暴露条件。它配备了双源I线投影照明器和RGB三角计量机，用于精确测量晶圆表面的CD。功能强大的I-Line照明器可提供更高的吞吐量和高达1.1 um的更高分辨率。取代传统的标线级，随着高速单轴压电级的引入，定位精度得到提高。Piezo级还能够精确扫描，允许低成本迭加。AXCELIS/FUSION M150可以直接访问一个可靠的工具数据库,以促进快速和可重复的流程重新启动。它还通过自动工具校准提供增强的用户体验。此功能可确保准确的处理结果,并最终提高晶圆吞吐量。它还通过广泛的计量和分析工具,包括功能强大的光学显微镜、迭加分析工具和能够在0到360度之间成像角度的成像软件,进行扩展过程开发。此外，FUSION M150还配备了多种质量控制功能，以保持生产质量的一致水平。它具有先进的工具同步OPC Metrology,用于改进精度控制,改进CD测量的分辨率,采用动态和静态平面场校正,用于清晰的边到边打印,提供多种用于经济高效解决的聚焦配方,以及具有大样本量的高分辨率扫描能力。M150提供了极大的灵活性,并提供了多种配置以获得最佳性能和计量结果。它是半导体晶圆加工的可靠、经济的资产，提供了简化的操作和最大的晶圆吞吐量。