二手 AXCELIS / FUSION M 150 #9287265 待售
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AXCELIS/FUSION M 150是一种曝光设备,能够向基质输送精确和精确剂量的紫外线(UV)或光敏化学物质。该系统利用一系列复杂的组件和机制来确保可靠和可重复的曝光。FUSION M 150是一个模块化平台,可以配备多种配置的高级曝光元件。这些组件包括源基板和基板基板、环境传感器模块和控制器单元。源基板和基板使设备能够精确调整曝光剂量和曝光角度以获得最佳精度。这样可以确保底物以正确的方式暴露于化学物质中。环境传感器模块使用传感器检测环境条件(如温度、湿度、气流和其他参数)的变化。这使机器能够自行调整,以在不同批次上取得一致的结果,同时降低因环境波动而导致材料退化的风险。控制单元是AXCELIS M150的核心,负责为工具提供电源、控制曝光周期、监控资产性能以及提供实时反馈和警报。控制器还允许用户访问模型设置,并为自动曝光周期调整参数。M150是一种可靠和先进的曝光设备,旨在提供精确和可重复的曝光,而用户只需付出最小的努力。它能够在不同批次上产生一致的结果,同时也将材料退化的风险降至最低。该系统非常适合那些寻找不需要任何手动调整的精确、可重复曝光的用户。
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