二手 AXCELIS / FUSION M 150 #9293753 待售

AXCELIS/FUSION M 150是为高通量和大基板设计的先进曝光设备。它能够提供高分辨率、低失真、均匀性和低排泄率,适用于从超高精度半导体掩模形成到大面积平板显示器的各种应用。FUSION M 150配备了先进的电子束源，允许广泛的级大小 （从300 mm到1200mm）和基板配置,业界领先的飞行时间为150 ns。电子束源在超低功率范围内提供极其稳定、可重复的性能,非常适合需要更细线和接触几何形状的应用。该系统高度可定制和可配置,允许用户选择最佳的配置和设置,以满足其应用程序的需求。此外,该单元的灵活性允许用户从各种控制应用程序中进行选择,包括自动特征识别、模拟和优化。AXCELIS M150能够支持多种晶圆材料和光掩模,包括大孔径掩模和高密度的标线。此外，它还可以支持低至0.1微米的特征大小。机器配备了高级诊断功能,用户可以监视其刀具的性能并优化工艺参数。这有助于确保卓越的过程控制和可重复的结果。此外,FUSION M150还提供了许多有助于其可靠运行的其他功能。高速数据交换和联网功能允许与各种资产外围设备（如晶圆对齐软件、处理器优化工具等）轻松运行并支持集成。M150适用于各种应用，从高质量的高级光掩模和接触器到超大表面积的非图案基板。此外,它结合了先进的功能和可靠的性能,成为高端半导体器件和大面积显示器生产的首选。