二手 AXCELIS / FUSION M 150PC #293619554 待售

AXCELIS/FUSION M 150PC是一种先进的曝光设备，旨在满足微电子领域最苛刻的应用。该系统通过先进的技术、设计和自动化提供卓越的可靠性和可重复性。该单元由具有先进光学器件的高性能光束源驱动，以确保一系列高度均匀的能量和剂量水平。五轴XYZ机械臂提供最精确可靠的样品输送，不牺牲速度和准确性。该机还具有低成本的亚微米步进器，超快的游行速度为6ns，精确的剂量水平+/-0.25%，深紫外线的长波曝光波长，以及由于全自动的在线胶片控制和曝光优化模块的高吞吐量。FUSION M150PC提供精确度和速度,拥有和运营成本较低。凭借强大而直观的用户界面,该工具具有足够的灵活性,可支持各种流程。它提供高精度剂量和曝光控制,精度高达0.1%。资产还配备了内置分辨率和漂移补偿算法，以实现更好的过程控制，以及自动晶圆处理和即时配方的可调过程窗口。AXCELIS M 150 PC模型由于其快速的晶圆循环时间,有效地利用了资源以提供卓越的生产率,同时还提供了一致而可靠的结果并提高了产量。实时流程反馈的使用也支持设备确保流程的长期稳定性。该系统符合CE、EMC和UL的要求,其超低振动共振可确保系统平稳安静地运行,同时减少停机时间。FUSION M 150PC是最先进的曝光系统之一,提供无与伦比的性能和可靠性。它非常适合微电子领域的生产和研究应用，能够实现高通量和高产加工。凭借先进的光学和机械臂，以及多种人性化的特点，是各类曝光作业的绝佳选择。