二手 AXCELIS / FUSION M 150PC #293619555 待售

AXCELIS / FUSION M 150PC
ID: 293619555
晶圆大小: 6"
优质的: 2010
Photo stabilizer, 6" 2010 vintage.
AXCELIS/FUSION M 150PC是为精密光刻处理而设计的曝光设备。它由超强大的6轴运动控制平台和Up- Down TimeBase运动控制技术提供动力。此技术允许对制造过程中的层和阵列放置进行极其精确的控制。该系统采用定制设计、功能强大的150W Mercury Lamp,其夹层玻璃窗可达到4K(开尔文)的温度。它还包括一个长焦距投影镜头,提供出色的光学均匀性,具有非常高的精度和可重复性。此外,FUSION M150PC还具有用户友好的设计,可让几乎任何操作员轻松操作。该单元具有高分辨率的图像处理功能以及高分辨率的模具对齐功能,可确保最佳的详细层定位和模式复制。AXCELIS M 150 PC完全自动化,以实现一致、高批量的生产,并具有准确性和可重复性。该机还具有多项内置安全功能。它配备了最高性能的空气防护、尘埃过滤器,并在基于时间的工具上操作,以避免危险的压力和热量积聚。高科技自动对焦功能允许在一次射击中精确、精确地放置碎片。M150PC还配备了包括CCD摄像头在内的各种测量和测量仪器,以确保准确、一致地完成所有图样。全自动过程控制资产监视整个过程,在测量值偏离目标水平或设备不符合安全或质量标准时停止设备和警告操作员。总体而言,AXCELIS/FUSION M150PC是一种先进、可靠的光刻模型,可实现精确的图样绘制和图层放置,并具有高度的准确性和可重复性。它具有用户友好的界面、安全功能和高分辨率成像功能,使其成为大批量生产的强大平台。
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