二手 AXCELIS / FUSION M 150PC #293619558 待售

AXCELIS/FUSION M 150PC是一种先进的曝光设备,专为制造集成电路和高密度互连而设计。该系统的设计目的是在大批量轮流生产中实现最高质量、最统一的结果。该装置包括一个多波长平台，可精确对准太阳能电池、电路和设备设备，这些设备的配置可提供最全面的曝光覆盖。这种接触疗法提供了更大的吞吐量、更低的运营成本和更好的设备电气性能。该机器包括多个光源，包括能够从紫外线和可见光谱产生曝光波长的脉冲准分子激光器。这样就可以同时覆盖复杂的多硅和小图片元素。该工具还配备了广泛的遮罩板和晶片级，使用户能够快速准确地配置所需的曝光条件。此动态曝光平台可提高层对齐速度和迭加性能,同时提供优化的曝光范围。该资产还采用了严格的温度公差设计。此温度控制可帮助用户在整个曝光周期中实现一致且可重复的性能。该模型采用有源空气冷却，有助于保持整个暴露区的温度均匀。该设备还具有高级软件控制功能。它使用精密的算法快速准确地配置多波长曝光平台，并与精密的设备控制系统集成。这使用户能够轻松调整曝光参数,以提供从FUSION M150PC中获得的最高质量性能。该系统被认为是业内最先进的曝光平台之一。它非常适合制造高密度集成电路和器件。该单元提供了确保下一代应用的最高质量硅器件和电路所需的精确控制和统一性。