二手 AXCELIS / FUSION M 150PC #293658467 待售
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AXCELIS/FUSION M 150PC是一种先进的曝光设备,旨在满足半导体行业常见的高通量生产要求。它为过程控制和计量提供了强大的功能集,有助于提供一致的收益率。该系统基于双源、八级、差分源平台进行光刻。这确保了高精度的结果和过程，对于生产高精度微电子设备至关重要。在功能方面，FUSION M150PC拥有直接驱动技术、高分辨率扫描仪光学以及先进的源和计量系统的创新组合。此配置可提供最佳吞吐量、低耗电量和出色的过程控制。此外，该单元还集成了全光谱激光干涉仪以实时测量扫描精度，以及先进的、完全集成的计量组件，这些组件旨在实现精确的过程控制和决策。该机器通过提供一系列高级硬件控制和软件包进一步提高了性能。其中包括基于图像的晶圆配准工具,以及集成冷却,以实现快速处理速度和提高吞吐量。此外,AXCELIS M 150 PC还包括标准的模具尺寸调整资产、定位模型和托盘放置工具。还有一个车载安全设备，有助于防止污染和与微电子生产有关的其他风险。最后,系统提供了广泛的性能和灵活性。这允许用户根据生产需要向上或向下缩放设备。它还支持各种数据管理解决方桉,并允许用户轻松访问和查看结果,从而实现更平稳的流程优化和与其他系统的集成。AXCELIS M150PC是满足高精度生产要求的理想曝光解决方桉。
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