二手 AXCELIS / FUSION M 150PC #293814121 待售

AXCELIS / FUSION M 150PC
ID: 293814121
晶圆大小: 6"
Photo stabilizer, 6".
AXCELIS/FUSION M 150PC是用于制造外延半导体器件的先进曝光设备。它能够执行重要的过程,例如epi层的开发、暴露和处理。该系统设计用于高通量生产以及小型设备制造过程。它配备了先进的高精度激光扫描对准单元、独立的扫描头、两个独立的扫描车厢、高度可靠的基于CCD的摄像机和直观、易于使用的触摸屏界面。该工具为高密度电路板、小型设备和纤维层等应用提供了最高的分辨率和准确性。FUSION M150PC具有先进的光束对准资产,可自动调整光束点位置,以确保激光光束的最高聚焦精度。该型号拥有高度可靠的基于CCD的相机设备,最大分辨率为2048 x 4096像素,确保了基板的精确可靠扫描。该系统还具有独特的独立扫描头,允许实时进行水平和垂直扫描及对齐,从而实现更快和更高的吞吐量性能。该设备还采用了直观、易于使用的触摸屏界面,为操作员提供了一种高效、直接的方式来配置机器和监控其流程。AXCELIS M 150 PC针对需要高精度和高精度的应用进行了优化。它使用高功率激光源运行,能够提供高达150mW的激光功率,波长范围为420nm至780nm。它还具有高达400mJ/cm2的高透明流通率,单线和双线分辨率为2、4、6和8微米。该工具还具有高级安全功能,如自动电源关闭、启用解锁的镜头保护、运动传感器和热管理资产,以保护人员免受潜在危害。FUSION M 150 PC是一种可靠的高通量机型,可提供高精度和优异的性能来满足任何制造过程的需求。其高效直观的操作使其适合广泛的应用和行业使用,使运营商能够快速高效地产生优异的效果。
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