二手 AXCELIS / FUSION M 150PC #293823986 待售
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AXCELIS/FUSION M 150PC是专门为大体积半导体器件生产而设计的先进曝光设备，被许多最大的半导体器件制造商的半导体器件所利用。该系统包括一系列技术组件,使用户能够生产高度精确、一致且可靠且缺陷最小的设备。该装置是围绕一个最先进的81厘米扫描长度的两场电子乘法光刻头建造的，该光刻头能够产生最小特征尺寸为20纳米的图像。此外,磁头提供高达5.3 μ m的极高分辨率,再加上高达20 mm/sec的高速扫描速率。此外,该机采用3800瓦三波段双宽带照明和可选的18khz辅助灯技术进行了优化,确保了最佳聚焦深度和最精确的特征尺寸。该工具的硬件构建在工业级PC上,并由英特尔至强处理器与Nvidia Quadro GPU配对提供支持,从而确保获得最佳结果的最高计算能力。资产的其他特点包括EUV投影光学器件和用于增强成像效果的高级像差校正模型。此外，该设备还提供了一个用于精确成像的闭环焦靶控制，而电动镜头设计可以提供极好的精度和可重复性。该系统还有一个集成的单元控制，为用户提供对所有操作、参数和数据采集的全面控制。这包括对整个机器进行单独的调整和校准，以及对各种食谱进行编程和储存以备将来使用的能力。此外,该工具还集成了一个独特的工具-监控资产,它提供了对光刻头、光学和传感器的详细分析,使用户能够进行主动调整以保持最佳性能。除了其先进的技术外，该型号还包括一套全面的安全功能，以保护环境、人员和设备。这包括内置的安全系统,可防止高温、机械损坏和有害材料的影响。它还包括在发生任何重大故障或紧急情况时自动关闭设备电源。综上所述，FUSION M150PC是为满足设备制造最严格的要求而设计的先进光刻系统。该单元具有广泛的特性，从低噪声EM光圈到创新的EUV投影光学，从个体校准能力到严格的安全特性。这使得它成为大批量设备生产的绝佳选择。
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