二手 AXCELIS / FUSION M 150PC #9114863 待售
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ID: 9114863
晶圆大小: 6"
Photostabilizer, 6"
Includes:
Cabinet with SST panels
Wafer chuck assembly
(2) Cassette elevators
(2) Wafer handling robots
AC Distribution box
Empty card cage
Cables.
AXCELIS/FUSION M 150PC是为半导体器件制造的最佳性能而设计的高端光学曝光设备。它是小型模具和大型晶片生产的理想选择，是先进微芯片制造工艺的理想选择。FUSION M150PC具有独特的准直投影光学系统，其中包括两个可单独调节的2轴7.5英寸镜面、一个5英寸波长的多视镜（MVO）镜头和一个0.65倍的场掩模光路。将目标图像均匀地投影到数字图像处理处理器上以进行精确控制。该单元还包括电源供应商、自动对焦机和用于晶圆测试和平面化的烧录单元。凭借其先进的功能,它提供了最大的灵活性和处理速度。该工具可配置为适应各种数字图像格式和分辨率,包括JPEG、TIFF、BMP和CMYK。最大分辨率设置为每英寸20,000点（ppi），非常适合复杂图形和文本的灵敏处理。自动聚焦控制能够检测对象位置的微小变化，精确调整焦点，以保证暴露层质量的一致性。再者，AXCELIS M 150 PC也支援多层曝光模式。可靠的资产设计使用户能够以最小的效率损失高效地切换和调整暴露参数。此外，它的专有液晶快门模型提供了从常规0.25毫秒到999毫秒的灵活耗费曝光时间，允许精细控制和增强图像质量。AXCELIS M150PC采用用户友好的液晶触摸屏,提供直观的图形用户界面,用于设置曝光时间、曝光区域和图层曝光参数。双区排气设备进一步提高了操作的舒适性和效率，使腔室保持清洁，并确保温度和湿度水平的稳定性。总体而言,FUSION M 150PC是一个可靠、高效的曝光系统,为一系列高级处理技术提供卓越的性能和灵活的功能。它适用于需要清洁和均匀曝光的应用，例如用于微电子、光电子和MEMS技术的半导体器件制造。
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