二手 AXCELIS / FUSION M 150PC #9226631 待售

AXCELIS/FUSION M 150PC是FUSION Technologies制造的曝光设备。它是一种光刻系统，用于在集成电路（IC）晶片和基板上创建图样。该装置能够处理尺寸高达150毫米（6英寸）的晶片，图样深度分辨率高达5纳米。该机器的特点是具有先进的高分辨率能力、高吞吐量和易用性。该工具具有高分辨率、高通量步进扫描资产,能够以高达350个晶片/小时的速度处理6英寸晶片。使用Asurf软件，该模型针对各种曝光模式和基材进行编程，允许用户根据所需的晶圆尺寸和生产需求定制工艺。该设备还具有一个长寿命的连续波激光二极管，能够支持基板的图案高达10nm。FUSION M150PC还配备了高性能电子束源。此光束源允许使用者达到低至5 nm的图样深度，光束电流范围高达3 amps/cm2，曝光剂量高达20 mrad/cm2。该系统还提供集成的实时缺陷检测,通过使用户能够快速识别基板上的任何缺陷,从而实现了最佳的生产效率。该单元建立在符合人体工程学的设计和易于使用的软件之上，使其易于集成到现有流程和培训要求中。该机由AXCELIS OneCET软件和AXCELIS/FUSION联锁控制器提供动力，提供高效的晶圆过程监控。该工具符合ISO、SEMI和OHSAS的安全、质量和环境标准。此外，资产还要定期进行维护和更新，以符合行业标准和安全法规，确保在其整个生命周期中实现最佳性能。总而言之,AXCELIS M 150 PC是一款高性能曝光模型,旨在在模式定义和基板材料类型方面实现最高的精度和清晰度。该设备提供高速吞吐量和精确的阵列,为用户提供了极大的灵活性和不断调整以实现最佳性能的能力。结合可选的光束跟踪包和实时缺陷检测，该系统是IC生产和其他相关工艺的绝佳解决方桉。