二手 AXCELIS / FUSION M 150PC #9232206 待售

AXCELIS/FUSION M 150PC是为高级光刻应用而创建的高级曝光设备。该系统配备了独特的5轴级单元，允许顶层性能的精确对准。机器的功能为用户提供了广泛的选项。该工具采用三种不同的光源构型：纯氟化氙、248nm波长的光带宽光源和365nm波长的I线光源。氟化氙激光器在整个光纹区域具有很高的通量、图像保真度和均匀度，而I线光源是聚酰亚胺感光膜的理想选择。该资产还采用了先进的准直迭加成像检测技术,可提供直接的边缘对准,提高精度和精确度。此外，准直迭加成像检测技术允许在一个周期内实时分析、监测和计量标线和晶片。此外,先进的电源补偿模块还提高了抗蚀剂的吞吐量、焦点和关键尺寸。该模型还包含一个复杂的计算平台,可直接控制诸如掩码ID、暴露、剂量和对齐等参数。计算平台还使用户能够自定义自己的配方设置和分析数据，从而无需额外编程。FUSION M150PC的来源足够智能,可以自动检测设备中何时加载掩码、晶片或标线。此外，该系统还配备了一些最先进的安全功能，如紧急关闭，以及燃烧和电气安全机制。AXCELIS M 150 PC是一个强大可靠的曝光单元，能够在各种光刻和纳米加工应用中提供一流的性能。用户友好的功能和高级功能使用户能够以最小的努力创建最高质量的图像和图桉。该机器非常适合工业和研究应用，如纳米电子学、半导体、微型光学和光子学。