二手 AXCELIS / FUSION M 150PC #9241901 待售

AXCELIS/FUSION M 150PC是一种先进的经济高效曝光设备,专为大容量光掩模生产而设计。它具有高吞吐量、高质量的图像和先进的自动化,是制造各种光刻蒙版（包括用于显示LCD的蒙版）的理想解决方桉。该系统提供了创新的、集成的光学设计，有两个离子泵和两个晶圆加载站选项。它还具有下一代电子产品,包括大尺寸、易于使用的触摸屏界面和运动控制器,以及自动对焦装置,以确保高精度和最佳的特征放置。FUSION M150PC还提供了多种功能来提高系统性能。这些特点包括用于在一系列气体中高效显膜的大功率离子泵，以及大面积偏振器和发射器以及可调节的孔径，从而能够产生高对比度、低失真和大面积图像。该机器还具有类似ProX的全范围扫描仪（FRS）以实现快速扫描移动时间,以及直观的焦点对准工具（FAS）以自动对准射击场。它还具有先进的多层光刻资产，相对于基板具有可调能量。此外,此型号还具有自动化的晶圆处理机制,可实现快速高效的批处理。这种晶片处理机制有四个机器人-一个用于从工作站装卸晶片，两个用于检查和清洁，一个用于分离。机器人可用于多个晶片的批处理，以提高吞吐量。此外,负载/卸载模块还配备了自动碰撞检测设备,可帮助确保不损坏标线和其他组件。AXCELIS M 150 PC允许生产各种各样的光掩模类型，包括铝和石英掩模，以及来自不同基板的转移。它还提供各种分辨率,范围从50 nm到500 nm。此外，该系统能够减轻迭加误差，允许精确的光掩模对准和提高产量。总体而言,AXCELIS/FUSION M 150 PC是一款经济高效、高性能的曝光设备,它提供了多种功能来简化、简化和改进光掩码的制造。它具有高吞吐量、先进的自动化和直观的触摸屏界面,是为LCD和Display应用制作高质量光掩码的完美工具。