二手 AXCELIS / FUSION M 150PC #9250096 待售

AXCELIS/FUSION M 150PC Exposure Equipment是一种先进的直接视图晶圆曝光工具,设计用于生产IC。该系统适用于亚微米特征尺寸的高密度器件的批量生产。该单元基于线性电机，可以精确定位和装载/卸载基板。该工具能够在30微米深度的200X减小时暴露多达150毫米的基板。该资产提供了一套旨在减少污染和提高准确性的功能。该型号的直视功能采用了集成的长寿命、密封透镜投影设备和封闭玻璃顶篷，确保了清洁、无尘的环境。它还配备了集成激光干涉仪，提供精确的基板定位和基板倾斜控制。该系统的光学单元采用无涂层干投影透镜和一系列光学带通滤波器，能够产生细线和亚微米特征尺寸。此外，该机还配备了机动化对准器，可用于快速、精确地对准精度<0.2um的基板。该工具的机动化晶片处理资产提供单基板和双基板处理,包括六西格玛功能。该模型还具有全自动、自动化的基板映射功能，以确保可重复的基板处理。FUSION M150PC是一种高效可靠的设备,专为长期、经济高效的生产而设计。该系统的专业编程确保了快速稳定的吞吐量,每小时的生产率高达12个周期。该设备采用模块化配置,在需要时允许灵活性和升级。该机器还提供远程监控的网络连接，并与各种主机、操作系统和软件兼容。AXCELIS M 150 PC Exposure Tool为IC制造过程提供了先进、精确的暴露能力。凭借其全面的特性和自动化，该资产非常适合高密度设备的生产，并确保准确和可重复的结果。