二手 AXCELIS / FUSION M 150PC #9399679 待售

AXCELIS/FUSION M 150PC是一种统一的高性能曝光设备,用于各种光刻应用。它旨在满足各种特征大小和音高精度级别中最严格的成像要求。系统拥有高速多功能传输平台，兼容高达375mm的标线。它包括一个最多可容纳30个标线的自动处理单元和一个用于对准和验证的激光查看器。FUSION M150PC包括一台高端光学图样生成器，利用尖端技术和先进的图像处理算法相结合，以极好的精度和可重复性生成一系列镜头尺寸。AXCELIS M 150 PC还配备了多级激光曝光头。它具有最大的150W功率，可以以高达250 μ m/s的速度曝光镜头。这种激光器的设计提供高保真图像具有极低的线条和空间变化。AXCELIS/FUSION M150PC结合了实时焦点控制、高级对齐控制和纠错功能,以保持最佳图像控制。自动化的过程控制机器通过增强的进程刀具控制功能,确保每次运行都有可重复的结果。该工具还具有下一代光刻运行时软件iCure。此软件旨在识别、分析和纠正曝光过程中可能出现的任何问题,从而实现更高效、更可靠的产品开发。其结果是灵活、可靠、高性能的曝光资产,具有最大的运动稳定性、卓越的可重复性和准确性,以及增强的过程控制能力。FUSION M 150PC是在广泛的光刻应用中提高生产效率和质量的绝佳选择。