二手 AXCELIS / FUSION M 150PCJ #9095711 待售

AXCELIS/FUSION M 150PCJ是用于深层紫外线LED应用的先进、经济实惠的曝光设备。该系统可在各种亚微米基板上实现高端性能。使用LED辅助、直接成像（DIDI）和各种数字高度控制（DHC）选项等专有技术,FUSION M 150PCJ为成像和特征尺寸提供了卓越的精度。AXCELIS M 150PCJ采用集成的测控单元设计,可确保操作精度、精确的图像传输和动态响应。这包括一个热管理冷却机来稳定曝光室以获得最佳性能。Direct Imaging Technology （DIDI）加强了曝光层和成像层之间的重迭，同时还提供了基板上特征尺寸的更大对比度分辨率。FUSION的Mach 2.0模块采用了先进的数字高度控制（DHC）选项,可实现不同层的精确对齐和多焦点曝光例程。通过这种能力，可以在许多基板上实现细间距和特征的均匀性。此外,M 150PCJ支持原位清洁功能,促使基板加工效率提高,提高产量和刀具性能。AXCELIS/FUSION M 150PCJ具有符合人体工程学的设计,可以高效、精确地处理过程。此外,资产的直观用户界面和实时远程监控功能能够快速反馈给操作员,从而在需要时便于及时调整。此外，该车型还支持自动对焦清洗、深度清洗、B级清洗等多种清洁工艺。总而言之，FUSION M 150PCJ一种用途广泛且高度精确的曝光设备，可以满足深层UV LED应用的需求。其集成的层级控制技术和自动化的工作流程,使得快速的设置和高效的操作.此外,其符合人体工程学的设计和经济高效的操作使其成为最佳系统性能的理想解决方桉。