二手 AXCELIS / FUSION M 150PCU #9043936 待售

AXCELIS/FUSION M 150PCU离子植入设备是一种最先进的可靠设备,可实现最大的过程灵活性和植入吞吐量。它是一种先进的集成离子植入器系统，适用于广泛的设备过程。它提供精确和卓越的扫描控制。此曝光单元由源腔、扫描仪和晶圆传输机组成。源室装有15EkV兴奋剂和20kV退火枪。它有一个8段静电扫描仪，用于精确的植入控制。扫描仪的垂直轴由计算机控制。晶圆传输工具的设计使得晶圆可以在不停止模型操作的情况下从资产中加载和卸载。还配备了自动晶片装卸模块。该设备由基于Windows的计算机系统控制，这使得植入配方的编程更加容易，植入控制更加精确。该单元还有一个实时反馈回路，有助于控制植入物的剂量和轮廓。这台机器允许精确和可重复性，即使有小剂量差异。FUSION M 150PCU提供可靠、可重复和高性能的植入。它采用先进的离子源控制技术和先进的光束和基板控制，以确保高生产率。用户界面由大型触摸屏彩色监视器和图形编程语言组成。这使得编程和更改食谱变得快捷易行。该工具还能够处理小基板尺寸和不同的等离子体过程，如低能植入物。该资产有一个多阶段占空比，允许最佳使用掺杂剂和最小的模型充电。此外,它还具有最大的流程灵活性,允许用户通过快速的周期时间有效地管理各种植入过程。AXCELIS M 150 PCU为各种设备和基板提供高性能、灵活、高效的植入和退火功能。它包含了先进的光束控制技术和直观的用户界面，以更快、更准确地实现植入配方。它具有卓越的可重复性能,可提高产量和性能,从而最大程度地提高可靠性。