二手 AXCELIS / FUSION M 150PCU #9235795 待售

AXCELIS/FUSION M 150PCU是一种工业级的光刻胶曝光设备，设计用于生产级光刻工艺，如晶圆、基板和面罩制作。该系统非常灵活,具有自动更换基板和掩模、立体声光刻和可调节曝光区域等功能。FUSION M 150PCU采用综合软件包构建,支持快速、精确的高度可重复曝光。该软件使用户能够在干燥和潮湿过程中完全控制光照水平和采集时间。此外,它还允许在较宽的曝光范围内定位精度高达0.1毫米。它还可以与变速、多区域扫描例程实现长期曝光一致性。AXCELIS M 150 PCU由一个高精度的伺服控制步进器和控制器、光传感器和软件平台组成。控制器配备了自己的集成微处理器和与相片传感器接口的电子设备。光电传感器本身包含一个高精度的光学单元，与标准的剖面仪相比，可以更精确地控制输出功率和曝光时间。该机还配备了高端XY定位工具，在广阔的区域内提供精确的精度。此外,它还包括真空卡盘资产,以确保样品在暴露过程中牢固地固定在适当的位置。该型号还可以配备防反射涂层设备，以帮助降低曝光过程中晶片静态堆积的风险。FUSION M 150 PCU具有内置的安全功能，包括专用的空气过滤器和保护人员免受有害辐射的专门防护装置，以及内置的紧急关闭系统。该机组也极为可靠，正常运行时间为99.9%。总体而言，M 150PCU曝光机是临界光刻工艺的绝佳选择。它坚固、易于使用和高度灵活,为各种应用程序提供激光精度和可靠性。