二手 AXCELIS / FUSION M 150PCU #9293816 待售

AXCELIS/FUSION M 150PCU是一种中等性能曝光设备,专为需要单曝光和多曝光功能的各种应用而设计。此机器具有一个新的6轴运动系统,可灵活调整和自定义1轴、2轴或3轴配置中的X或Y事件。与同类系统相比,FUSION M 150PCU预热时间得到了改进,预热时间为2分钟,最多6个轴。该单元设计成以1微米的线性增量运行,在20毫米扫描范围内提供± 2%的总体精度。该机还具有22纳米的高分辨率，允许在对准、接触和成像应用方面有更大的选择性和准确性。子曝光功能以及集成的自动对焦和直观导航使AXCELIS M 150 PCU适用于快速设计和最佳的特征和模式保真度。本机具有多种标准特性，包括多种能级选择、可变扫描速度和可变剂量法，以及扫描屏障防护、对准、原位扫描等全面的高级安全特性。它还附带了一个全面的诊断软件包,以确保工具性能始终保持在规范范围内。该资产由易于使用的图形用户界面提供支持,可提供简化和自动化的操作。该界面还提供全面的在线数据日志和统计流程控制，允许用户实时监控和跟踪流程性能。此外，该模型还为宽度不超过200厘米的特种腔室和各种校准程序提供全面支持。FUSION M 150 PCU适用于多种关键应用，包括生命科学和微电子学领域的纳米光刻、激光烧蚀和运动控制。对于在经济高效且可靠的设计中寻找中等性能曝光设备的客户来说,这是一个理想的选择。