二手 AXCELIS / FUSION M 150PCU #9355454 待售

AXCELIS/FUSION M 150PCU是为生产先进半导体器件层而设计的曝光设备。它采用了单件、双梁、直列机系统，将其轮廓化为一个统一的平台，以实现精确处理和放置。在超高晶片吞吐量下,该单元可为各种晶片尺寸和层提供卓越的成像质量。机器的最先进的光学器件，激光切割晶片支架和加载工具提供精确的对准，减少模具放置不均匀。FUSION M 150PCU配备了先进的自动曝光、模式对准、模压铸造、对准以及最佳目标级对准设计。其软件功能旨在最大限度地提高吞吐量、控制垫子、速度、实现连续对齐和高吞吐量成像。该资产允许精确控制曝光参数,如照明功率、数值孔径、传感器位置、剂量和焦点大小。AXCELIS M 150 PCU附有六种不同的成像系统，包括高解析度标准镜头、高解析度离子感应、环状扫描、自动聚焦、环状扫描加激光对准。这确保了在各种波长和数值孔径下的灵活和高质量的成像。为实现高效操作,该模型设计了内衬器、轮廓图、放置补丁程序和应用的不可锁定保险杠。这样可以消除微米振动,并减少曝光时间。此外，该设备还具有自动模模配准，用于掩模与准分子对准（MTE）对准，提高了边对边配准精度。该系统还设计了多目标晶圆处理功能。它的自动对齐器能够处理多达四个晶片堆栈，并且设计成通过自动传感、推动和夹紧来压缩晶片组，使整个晶片能够曝光。综上所述，M 150PCU是一个单件、双梁、直列机单元，旨在实现高级半导体层的精密处理和放置。该机器在超高晶圆吞吐量下可提供卓越的成像质量,可提供各种晶圆尺寸和层,并具有高分辨率光学器件、自动模模配准工具、多种成像系统和自动内切/轮廓器功能,以减少非均匀性并提高边到边的精度。此外,该资产还具有多目标晶片处理功能和可处理多达四个晶片堆栈的自动对齐器。