二手 AXCELIS / FUSION M 150PCU #9355456 待售

AXCELIS/FUSION M 150PCU曝光设备是先进的晶片光刻加工工具。它经过专门设计，既准确又快速。它具有很长的工作距离和宽广的视野，使标线精确对准晶片。此外,其快速的曝光率和较短的曝光率使工作流程保持一致和高效。该系统非常适合一系列光刻工艺，包括直接紫外线激光曝光、紫外线光刻涂层和后涂层对准。它的快速曝光率是由于一个四透镜光学单元与浮场成像机。这种四透镜光学工具的数值孔径较小，减少了衍射，提高了分辨率。资产还具有Auto Focus功能,可快速将晶圆置于最佳焦点位置。FUSION M 150PCU通过其集成的自动对齐功能为关键成像任务提供高精度。自动对准功能可快速准确地将标线对准晶片,以形成适当统一的曝光模式。此外,它的可调聚焦功能可确保所有图像具有相同的聚焦距离,从而确保一致的曝光和结果的可重复性。该模型还设计方便晶圆处理和加载。它有一个快速晶片检修室，可轻松打开，使晶片能够快速装卸。此外，它的自动晶片对准设备减少了对准问题，并有助于将晶片快速定位到成像阶段。总体而言，AXCELIS M 150 PCU曝光系统是晶片快速、精确光刻加工的绝佳工具。它的功能允许用户快速准确地将标线与晶片对齐，确保均匀的曝光模式和可重现的结果。借助可调节的聚焦单元和自动晶片对准，机器一定能帮助在任何微加工过程中促进平稳高效的工作流程。