二手 AXCELIS / FUSION M 150PCU #9391701 待售

AXCELIS/FUSION M 150PCU是为半导体制造业设计的最先进的曝光设备。它利用高端光学元件和先进的扫描能力，为制造高度复杂的半导体器件提供卓越的分辨率和精度。该系统由镜头组件、扫描仪、光源、曝光控制和晶圆跟踪组件组成。该单元提供的镜片组件是一种优化的消色差，具有低静电散光，出色的色彩校正和高分辨率。它具有200毫米的有效孔径和双光路，使它能够提供高达201毫米的总投影面积。扫描仪由多轴扫描臂、高质量的狭缝扫描相机和红外探测器组成。它的先进功能允许快速扫描和获取各种暴露水平和晶圆位置。曝光控制具有可调节的设置，可以准确控制曝光时间、剂量、拍子大小和扫描速率。此外，该机器还配备了高速晶圆跟踪工具，每小时可跟踪多达180个晶圆，重复精度为0.5毫米。该资产还集成了能够每小时曝光超过8000个晶圆的大功率光源。光源由一个可编程的发射器阵列和一个反射器组成，其波长和发射类型的设置可调。这允许半导体器件的最佳曝光。最后，该模型还能够对温度范围为4-40°C的晶片进行精确的温度控制。这样可以确保曝光过程是均匀的,从而消除由于热梯度引起的任何缺陷。FUSION M 150PCU是半导体行业的强大工具，让企业以更高的精度和效率制造出更复杂、质量更高的器件。其先进的功能,加上坚固的设计和紧凑的外形尺寸,使其成为当今市场上最可靠、用途最广泛的曝光系统之一。