二手 AXCELIS / FUSION M 150PS #293616814 待售

AXCELIS/FUSION M 150PS是为半导体行业先进光刻应用而设计的高端曝光设备。它使用投影光学器件将精确的图样照射到光刻表面，从而能够在集成电路（IC）上创建复杂的电路图样。FUSION M 150PS使用了一种大功率汞/氙灯，提供波长范围为436-451nm的强光源。它的投影光学由光学元件、冷凝器透镜、标线架和一个共同提供150倍放大倍率的投影透镜组成。该光路与步进和重复运动系统同步，该系统将标线图样移动到IC的大面积快速、精确的图样。该装置还配备了一台真空机，可保持曝光室内的压力，并有助于确保曝光过程中的最高精度。此外，AXCELIS M 150PS包括多种安全功能，以保护操作员免受有害辐射和其他潜在危害。M 150PS的先进特性使其成为芯片封装和微打印元件等大容量光刻应用的理想选择。它还实现了卓越的吞吐量,与大型IC相比具有一致的图像质量。功能强大的刀片扫描仪可确保即使是最复杂的阵列也能快速准确地曝光,从而在成本敏感的生产环境中提供卓越的性能和可靠性。总体而言，AXCELIS/FUSION M 150PS是典型的多项目晶圆工艺的绝佳选择，包括医疗设备和电信的工艺。其柔韧性和坚固的设计使其适合各种光刻应用。