二手 AXCELIS / FUSION M 200 ACU #293641443 待售

AXCELIS/FUSION M 200 ACU是提供精确高速图样的先进光刻曝光设备。它是市场上速度最快的扫描仪之一，每小时能够达到200次晶圆曝光。它具有高吞吐量和精确覆盖精度的动态性能。ACU利用先进的先进光学成像系统和变速直流电动机来实现更大的控制和灵活性。成像单元使用了各种各样的透镜、分束器和其他光学元件,因此可以对多个标线进行成像,而无需对机器进行重新编程。该工具还具有镜片像差校正功能,即使在使用极端光学配置时也能实现精确的阵列。此外,ACU还将生产吞吐量和精密迭加与超低拥有成本相结合。这种组合使制造商能够快速生产低成本的高密度设备。ACU支持各种各样的工艺应用，从模具级封装到多层芯片级封装。该工具配备了若干性能增强控制功能。最高级别的伺服系统和传感器提供快速、准确的信号处理,而直观的控制台软件通过自动执行预防操作来提高工作效率。ACU还具有丰富的标准和定制组件,提供了广泛的可配置性和可靠性。此外，ACU使用了若干安全标准，使操作员的工作安全。该资产包含几种内置的安全机制，如气动阀锁、低压背压互锁模型，以及振动监测设备和反射器清洁检测器等附加功能。FUSION M 200 ACU是一款功能强大、高度先进的光刻仪器，能够以极高的精度可靠地、精确地对设备进行阵列设计。它将速度、灵活性和性能增强功能结合到生产设备中,可帮助减少上市时间和降低拥有成本。该系统是制造商在生产过程中寻求最高质量和效率的绝佳选择。