二手 AXCELIS / FUSION M 200 PC #9329137 待售
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AXCELIS/FUSION M 200 PC是为激光光刻应用开发的先进曝光设备。该系统使用532-nm绿色准分子激光器在半导体晶片上创建光刻胶图样。它还具有两种精密聚焦光学器件，以提供高分辨率成像，提高聚焦深度和更高的吞吐量。该单元采用刚性底板设计，以消除振动，确保精确的光刻对准和曝光。它还包括一台热成像机和先进的计量工具，用于监测和调整过程运行期间的曝光参数。该工具的核心特点是具有自动曝光功能。该平台允许可编程参数设置，如曝光时间、焦点深度、场大小、能级和波长。Power SenseTM电源监控技术动态测量激光的功率分布，并自动调整其性能以获得最佳性能。此外,PulseStitch TM功能使用户能够将可调节持续时间和能量的多个脉冲组合到单个脉冲中。这确保了光刻胶图样之间均匀的能量分布。FUSION M200PC配备了先进的安全功能，以保护操作员和激光资产免受伤害。除了车型的互锁传感器外，设备还内置了安全帘系统和排气单元，可以消除曝光过程中产生的烟雾。该机还配有水冷却器和电源，以提供稳定、持续的运行。AXCELIS M200 PC可与多种光掩模设计结合使用，可用于开发多种不同类型的光刻胶和其他光刻工艺。其精密聚焦光学、可编程参数设置、脉冲技术等特点可与光掩模、光刻胶等工艺结合，定制个别配方，使其成为半导体光刻研究和生产的理想工具。
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