二手 AXCELIS / FUSION M 200 PCU Polo #9258174 待售

AXCELIS/FUSION M 200 PCU Polo是一款高精度曝光设备。它采用了类似显微镜的设置，其中一个标线安装在一个x-y级和晶圆是用来捕捉图像。标线放置在x-y级，与晶片对齐。然后在显微镜下沿x和y方向移动标线，将其定位以进行曝光。该系统旨在提供精确、可重复的曝光,并具有出色的分辨率。它的高分辨率光学器件精确地捕获了标线，使其能够在低水平下提供准确的曝光。这个单元还有一个机动化的晶片级，可以将晶片精确呈现给标线，以确保最大程度的曝光精度和重复性。FUSION M200 PCU POLO具有数字运动控制器,可精确控制x-y级和晶圆位置。它能够提供从毫秒到小时的曝光时间,以及从几纳克到毫克不等的曝光剂量,并且可以将曝光量保持在1% ±以内。此外，它还提供LED、K星、Mercury Arc、DUV灯等多种光源，以及窄带调节、防反射滤镜等滤镜选项。曝光机还具有几个安全特性。它提供自动晶片边缘对准与自动边缘检测算法和独立的安全工具。这样可以确保标线的精确对准,并具有最小的损坏晶片或标线的电位。它还具有自动检测标线移动的功能,并在发生意外移位时立即停止曝光和缩回标线。最后，AXCELIS M 200 PCU-POLO配备了数据记录资产。该模型实时记录暴露时间和剂量，可用于过程控制和缺陷分析相关目的。它还可以记录位置、温度、湿度和其他环境条件，以确保均匀暴露和过程重复性。总体而言,AXCELIS M200 PCU POLO是一款先进而坚固的曝光设备,能够以卓越的分辨率提供可重复和准确的曝光。它的安全功能提供了额外的保护级别,其数据记录功能可确保准确记录过程控制和缺陷分析。