二手 AXCELIS / FUSION M 200 PCU #293651753 待售

AXCELIS/FUSION M 200 PCU是一种为支持半导体工业生产而设计的曝光设备。该系统包括一个管理、传送和控制宽带紫外线光源的先进平台。它能够使用自适应单元自动控制其输出功率。FUSION M200PCU有一个石英封闭式光学机器，可以直接集成到所有输出级别的扫描仪、步进器和生产甲板中，用于图样和标线成像等目的。凭借其广泛的光学参数，该工具可以容纳不同类型的半导体基板和特征尺寸。该资产还具有广泛的光学元件，如偏振和高度传感器，以及独特的光束均匀器，提供均匀的强度分布。该模型能够安排曝光时间和功率水平，确保准确的紫外线辐射量。所有设备功能都是可编程的，系统只支持扫描或扫描控制模式。它还有一个先进的维护测试单元，设计灵活，支持未来的升级。对于维护和维修任务，AXCELIS M200 PCU单元设计为远程维修，在技术人员维修时将继续运行。机器还有一个强大的软件集合，允许远程工具监控。此软件允许技术人员远程调整参数、调整资产设置并排除任何问题。M-200 PCU是为高可靠性和长使用寿命而设计的,在整个使用寿命过程中几乎不需要维护。该模型还具有许多用户友好的功能,例如易于使用的图形用户界面,使操作员和技术人员能够直观地访问所有设备功能。AXCELIS M200PCU是一种高度可编程且易于使用的系统,非常适合为半导体生产和其他苛刻的应用提供高质量的紫外线辐照。它旨在提供一致准确的曝光,并且可以轻松集成到现有生产线中。