二手 AXCELIS / FUSION M 200 PCU #293824584 待售
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AXCELIS/FUSION M 200 PCU是一款高端曝光设备，旨在为平版印刷应用提供出色的分辨率。该系统将高级单元体系结构与高级映像功能结合在一起,以提高性能和工作效率。该机器非常适合设备制造需求,从小型部件到全尺寸设备。该工具包括一个配备两个后视式摄像头的高端等离子体室，允许用户从任何角度监控资产的性能。有多通道电容监视器，有助于优化晶圆吞吐量和监控晶圆质量。100 W电子束源有助于容纳较小的区域以进行精细的阵列,而50keV的工作电压范围为设备和特征尺寸控制提供了更大的灵活性。该模型可以暴露一系列的光阻特性，并提供高精度的深度聚焦能力。计算机控制的扫描仪确保了精确和可重复的晶圆成像，同时处理多层放置和曝光模式的能力提高了产量和生产率。该设备还配备了优化引擎，用户可以根据不同的设备生产要求轻松定制系统。该单元还具有自动跟踪机，允许用户在生产过程中监控设备的性能。该工具还能够进行热烘烤，允许用户控制暴露树脂的均匀性。先进的基板处理使资产能够轻松地、安全地转移和处理薄基板，降低了污染风险。FUSION M200PCU是一种用途广泛、功能强大的曝光模型,非常适合设备制造。由于其先进的成像能力、强大的设备体系结构和灵活的优化引擎,该系统可实现最大的设备产量和准确性。
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