二手 AXCELIS / FUSION M 200 PCU #293824586 待售
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AXCELIS/FUSION M 200 PCU（Product Containment Unit）是一种曝光设备，设计用于在半导体生产中提供最大的密封能力。该系统配有一个可调、先进技术的闸阀,可将PCU的工作区与生产环境的其余部分隔离开来。这样可以确保工作空间中只存在最纯净的气体和化学品，从而确保清洁和安全的工作环境。FUSION M200PCU由固定的安全壳、可调节的观察窗和低热质量炉精心构造，都是根据用户的具体需求组织的。可调检视视窗旨在增加装置内部工作的可见性。低热质量炉的设计是为了确保在每一个温度设置时均具有一致的热性能和传热精度。AXCELIS M200 PCU使用由铝支撑结构覆盖的石英网吸收基板发出的短波和长波长紫外线辐射，保护其免受氧化和污染。石英网还有助于调节聚合过程中的固化均匀性，使生产具有高性能的半导体成为可能。M200 PCU还有多种选择,包括微机电系统（MEMS）涂层、硅氧化物和等离子体增强的CVD,以及高通量/低流量气体管线。在半导体生产过程中,MEMS涂层薄膜资源确保了对薄膜的精细控制和均匀性。氧化硅和等离子体增强的CVD有助于优化细线光刻的生产和优异的底层防反射涂层（BARC）性能。AXCELIS M200PCU旨在满足最严格的密封要求,并采用SafeWeb技术。此软件包用于保护计算机免受潜在的破坏,如未经授权的访问尝试和进程参数操作。这确保了安全可靠的工具,同时仍然操作简单,有助于保护员工、最大限度地降低成本和保持质量。
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