二手 AXCELIS / FUSION M 200 PCU #9095387 待售

AXCELIS/FUSION M 200 PCU是一种完全可配置的半导体晶圆曝光设备,为前沿半导体器件技术提供最高精度、最高质量的EUV掩蔽。该系统专为8英寸、12英寸和16英寸晶圆尺寸而设计,具有创新的大尺寸蒙版工作台和平滑的传输运动-在蒙版书写方面提供了前所未有的稳定性和准确性。FUSION M200PCU旨在通过高端掩码吞吐量能力和下一代校准能力来加速掩码的生产效率。它具有x、y、theta和z四个扫描轴，在存在热漂移的情况下提高了掩模写入精度和稳定性。PCU允许使用用户选择的曝光字段快速优化和全局迭加校正,以及用户指定的扫描速度和分辨率,从而实现精确的迭加对齐。AXCELIS M200 PCU提供了一个用户友好、直观的图形用户界面。集成控制器包括用于图像质量分析、自适应校正、优化和增强对单元功能控制的软件工具。该机还可以与ASTA口罩-检查工具集成，允许用户以高度的精度和控制来监视、测量和校正所有暴露的口罩场。PCU工具利用高性能激光照明光学资产，具有优异的光束稳定性和功率匹配能力。它还具有一个大场、多缝光束传递单元，允许在整个遮罩场均匀照明。集成的动态光束成形模块提供了复杂掩模结构特征的优越、锐利再现。可选的曝光扫描仪附件可用于模式游览,分辨率高达0.25 um。M-200 PCU配备高精度、热控、掩模和晶片级模型,并带有加热晶片卡盘,可优化过程控制。该设备还配备了一个脉冲氮气柜以帮助尽量减少污染，一组高性能机械级在整个暴露过程中提供高稳定性，以及一个空气净化系统以消除灰尘的潜在有害影响。AXCELIS/FUSION M-200 PCU是一个高度通用的单元,能够生产具有高吞吐量能力的优质口罩,同时还能提供极致的准确性、统一性和过程控制。它是最先进和要求最高的半导体掩蔽应用的理想解决方桉。