二手 AXCELIS / FUSION M 200 PCU #9145259 待售

AXCELIS/FUSION M 200 PCU是为光刻涂层和烘烤应用而设计的领先曝光设备。该系统在涂层、烘烤、后烘烤和蚀刻工作流程中提供一致性。其先进的技术确保了精确和可重复的控制、更好的生产再现性和交付的性能。其先进部件包括晶圆机器人装载机、平台安装的输送机单元、受控温度空气和变速驱动电机。晶圆机器人装载机具有嵌入式视觉机器，可确保晶圆的插槽到插槽的精确处理。输送机工具有一个可调节的网络夹具，这使得精确晶片到晶片的传输和放置与最小的人工交互。温度和湿度控制确保温度和湿度条件均匀，以减少缺陷。可调整变速电动机，对曝光、烘烤、蚀刻操作进行精确、可重复的控制。FUSION M200PCU有一个标准的烘烤烤箱与循环加热空气资产.该烘烤炉支持N7、HMBCD和HOLEMASK/SATICIDE工艺的晶片曝光。烤箱还配备了最新的门/程序优化控制，以确保均匀性和最优工艺性能。该模型还包括一个排气通风室，可以清除任何不必要的气态积聚。该设备还设有可变高度薄膜涂层站，可自动将光刻胶沉积到晶片基板上。本站设有专利空气雾化器技术，提供均匀精确的光刻胶膜厚度涂层，达到最佳效果。该系统还为热板、烤盘和紫外线暴露操作提供可选支持。AXCELIS M200 PCU是一个高效的性能增强单元,具有先进的技术并支持各种曝光操作。此机器可确保精确和可重复的结果,提供更高的操作效率、更好的可重复性和总体卓越的性能。