二手 AXCELIS / FUSION M 200 PCU #9250405 待售
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AXCELIS/FUSION M 200 PCU是一种用于光刻的超高分辨率自动曝光设备。FUSION M200PCU旨在提供最高水平的精确度、精确度和可重复性,是高效生产微型和纳米精密元件的可靠工具。该系统提供的超高分辨率是由其先进的投影镜头，其特点是专利弯曲场技术成为可能。这项技术使AXCELIS M200 PCU能够将图样化区域精确投影到从硅片到其他平面的各种基板上。这样可以确保每次图像都准确一致。M200PCU的曝光源是一个强大的连续脉冲汞蒸气灯，能够产生宽带和深紫外线。AXCELIS M 200 PCU配备精密的25mm x 50mm阵列面罩，具有衍射质量镀铬钼基。这样就可以将完美无瑕的结构投射到40纳米的水平。曝光单元还采用了最先进的运动控制机器，利用精确的线性和旋转轴来提供最精确的基板管理。AXCELIS/FUSION M200 PCU的其他功能包括用于快速聚焦优化的计算机控制自动对焦工具、集成的自上而下均匀性校准、实时基板温度监测以及用于优化剂量均匀性的先进曝光控制算法。M200 PCU是广泛应用的理想解决方桉,包括半导体晶片加工、太阳能电池制造、薄膜沉积和医疗设备制造。其坚固的结构和直观的用户界面使其在具有挑战性的生产环境中易于使用和可靠。AXCELIS/FUSION M 200PCU具有一系列先进的特性和功能,为高级光刻技术的需求提供了经济高效的解决方桉。
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