二手 AXCELIS / FUSION M 200 PCU #9284344 待售

AXCELIS/FUSION M 200 PCU是一种全自动晶圆曝光设备,在设计时考虑了生产率和生产吞吐量。这个系统设计用来处理直径200毫米范围的晶片。该单元由高精度X-Y级和运动控制机、高端模式发生器、多光谱盒照明和先进的紫外线光学器件组成。晶圆级的分辨率为2.5纳米。这种精确度能够快速、准确地打印复杂的图桉。此工具提供了许多功能以最大限度地提高生产效率。它包括一个称为Protec PU的高级模式生成器，它可以即时生成模式，最大内存为40兆字节。该资产还配备了先进的光学模型,可提供稳定的均匀照明和自动零移位,以及高达270 nm的超限功能。该设备还配备了Astra,这是一种集成检测工具,能够在曝光后自动检测晶圆。Vision Metrology系统和3D映射软件可用于打印模式的可视化。该单元的晶片吞吐量高达每小时1200个晶片,并且能够根据层的复杂性每小时处理多达500种模式。它集成并提供了一个广泛的库,用于优化脚本、过程配方和模拟模型。最后，机器是高度可靠的，包括自我诊断，以及几个功能，以防止错误。FUSION M200PCU是晶圆制造极为通用、功能强大的工具。它具有柔韧性、准确性和高通量，非常适合半导体生产和光刻。凭借其高端功能和可靠的性能,此工具可以显着提高生产效率并显着降低生产成本。