二手 AXCELIS / FUSION M 200 PCU #9284834 待售

AXCELIS/FUSION M 200 PCU是一款先进的曝光设备，旨在提供半导体加工领域的卓越成像性能。该系统将直接和反射器光学技术与高端光学技术相结合，以确保可靠和可重复的曝光精度。该单元由高分辨率步进电机、介质控制器和用户友好软件组成。步进电机能够以精确、流畅的方式推进各级，确保零件在基板中的准确放置。介质控制器管理跨多个功能的阶段和序列,并具有可预测的结果。软件具有图形用户界面,允许轻松更改参数、预览和优化曝光过程。该机装有紫外线激光器，可以快速准确地接触基板。标准光刻还包括波长范围为365、248和193nm的高达8 W的紫外线光源。为了获得更高的分辨率，设计中加入了高精度对准工具，允许更好的对焦和图像结果。此对齐资产能够在1微米内提供图像精度。该型号设计灵活、模块化,能够快速轻松地更改设备配置以满足特定需求。它还具有高速数字通信、高速控制器、低电压等特点，以减少功耗和恢复时间。FUSION M200PCU是基于项目和生产环境的理想工具。该系统具有灵活的设计、高精度的组件和软件,便于根据不同的需求进行快速更改,从而以具有竞争力的价格提供卓越的成像效果。