二手 AXCELIS / FUSION M 200 PCU #9314155 待售
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AXCELIS/FUSION M 200 PCU是一种顶级曝光设备,旨在简化晶圆处理过程中的移动和自动化。该系统具有高级曝光模块（AEM）,能够保持比竞争对手系统更严格的覆盖控制。这种先进的技术可以灵敏地扫描模式，精确地改变生成模式的大小和形状。该单元还具有三轴级,可提高曝光时的精度。该机器包含图像扫描技术,它提供晶片的详细图像,用于快速检测多个芯片上的模式。这项技术还可以高精度检测缺陷，确保高产，而不牺牲整体生产力。该工具还包括一个尖端的双喷射聚焦离子束（DJ-FIB），提供高精度的图样定位和快速的重复性。FUSION M200PCU还具有提供无与伦比的速度和效率的高端自动化功能。资产能够进行各种类型的曝光，包括抗蚀、镀铬、黄金。该模型还可以集成最先进的自动化,以简化流程时间,显着降低人工成本,并释放人员以专注于其他任务。最后,AXCELIS M200 PCU提供了改进的污染控制.通过其厌氧过程隔离，设备阻挡污染物和颗粒积聚，可以影响整体晶圆性能。该系统还包括全面的离子洗涤，以完全清除污染物。总之,FUSION M 200 PCU提供了先进的自动化、精确的移动和卓越的污染控制.其尖端成像技术使得该单元非常适合快节奏晶圆处理操作，提供详细的分析和一致的结果。该机具有增强的迭加控制、精确的图样定位和改进的工艺时间，是提高晶圆处理效率的创新解决方桉。
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