二手 AXCELIS / FUSION M 200 PCU #9314174 待售
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FUSION™ AXCELIS/FUSION M 200 PCU曝光设备是先进且高效的基板曝光系统,适用于先进的晶体管技术。它结合了最新的工艺技术和高度适应性的基板处理平台，允许广泛的设备制造过程进行处理。FUSION M200PCU单元包括具有4点基板处理能力的完全集成的光机械机。它还具有先进的成像和对齐配置,能够实现非常精确的对齐。此外，该工具还为用户提供了容纳多达7种不同基材的选择。资产依赖于基于双枪射频（RF）的电子束蒸发。此过程可确保提供一致的层厚度以及出色的可重复性。射频源还能最大限度地减少有毒挥发性有机化合物（VOC），同时仍能提供优异的效果。该模型为用户提供了多种好处，例如能够快速且不失真地暴露大面积基板；创造多层不同材料的能力；提供多种曝光技术，包括多轴、动态和阶梯式分辨率。它还允许用户定制曝光参数，提高对准精度，减少基板和材料处理时间，减少热应力和减少面罩污染。AXCELIS M200 PCU具有强大的设计能力,能够产生高质量的图样,是适用于各种基板和器件应用的理想基板曝光设备,包括生产先进的晶体管,如场效应晶体管（FET）、金属氧化物半导体（MOS）器件和表面声波（SAW）谐振器。此外,它还可用于多种沉积任务,如CMP处理、介电蚀刻、栅极沉积、垫层沉积和屏障/衬里沉积过程。
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