二手 AXCELIS / FUSION M150PC MicroLite #9162462 待售

AXCELIS/FUSION M150PC MicroLite曝光设备是一种高性能光刻选项,旨在满足最具挑战性的生产要求。该系统为生产光刻提供了高效、经济高效的解决方桉。利用PascivalinesTM/DEC Seria TM光学设备,该设备的高级设计和构造提供了卓越的性能、准确性和分辨率,并能够以前所未有的速度和准确性有效生产下一代半导体结构。此外,专有的空气轴承主轴可确保高度精确的晶圆处理和对准,而SCSI控制可实现严格的过程控制。FUSION M150PC MicroLite的小型外形允许灵活的生产设置和集成。它重量轻,占地面积小,非常适合光刻套件和一般生产环境中的鼓和队列设置。此外，其优越的运动力学可以实现广泛的波长和功率水平，从而产生高质量的图像和低失真水平。AXCELIS M150PC MicroLite提供高性能、先进光学和卓越精确度的独特组合。它易于使用的控制允许快速高效的操作,不会因为劳动密集型清洁周期而导致停机。此外，其集成的微处理器控制的机器监控和故障检测软件确保了最大的正常运行时间和准确、可重复的结果。M150PC MicroLite先进的激光驱动、直接驱动设计使其非常适合批量生产应用。利用模块化、高效、低功耗的光学设计,在光刻过程中实现了高精度。它还为高分辨率暴露提供了低颗粒生成和极小的斑点尺寸。AXCELIS/FUSION M150PC MicroLite的开放式体系结构软件能够与各种测试和分析系统集成。这对应于提高光刻工艺的生产率和准确性。此外,其增强的操作程序使用户能够访问、存储和操作图像分析软件,如SEM或LDI。总体而言，FUSION M150PC MicroLite是先进生产光刻的高效可靠的选择。它经过高度优化和经济高效,为各种光刻工艺提供了精确度和准确性。其先进的特性使其成为大多数光刻套件的重要组成部分。