二手 AXCELIS / FUSION Microlite 200 PCU #9095471 待售

AXCELIS/FUSION Microlite 200 PCU是一种精密的曝光设备，旨在方便半导体器件的操纵和制造。该系统利用了一个可定制的标线级,该标线级支持具有不同基材的多个标线,并为定位和对齐提供了可重复的性能。扫描控制针对低噪声操作进行了优化，能够以各种扫描速率运行。FUSION Microlite 200 PCU提供双光束对准，在对准过程中提供高精度，减少对准时间。该单元的主要特点包括精确的数值孔径调节、用于聚焦定位的步进电机和齿轮头电机，以及扫描速率和光学稳定的动态优化。光掩模对准由实时聚焦机驱动，内置计算机控制、伺服驱动的标线级。它利用两个独立的光学引擎，在对准过程中提供高精度和精确度。该工具能够精确定位特征,即使扫描速度超过每秒1000个周期。Photomask Changer是一种全自动资产，可以在不同的photomask集之间快速索引和切换。AXCELIS Microlite 200 PCU具有多位置条纹传感器（MPS）和4个传感器头。这通过允许标线与覆盖网格阵列的精细对齐,为对齐过程增加了一个精度级别。它还允许同时调整多个功能,从而进一步提高吞吐量和生产率。标线选择单元（RSU）提供精确、低噪声的标线对准，步进电机和齿轮头电机提供精确的聚焦和定位。此外,AXCESMicrolite 200 PCU具有有效的冷却解决方桉,使模型能够处理不同的基材和材料。还提供了远程监测设备，以便在无需人工干预的情况下高效收集数据。该系统还允许快速设置多个模块,这些模块可以轻松安装。最后,AXCELIS/FUSION Microlite 200 PCU是一种先进的曝光装置,具有多种功能,旨在提高半导体制造工艺的效率和准确性。该机提供双光束对准、精确的数值孔径调整、用于精确对准的MPS传感器，以及用于精细精确对准迭加网格图样的多位置条纹传感器（MPS）。该工具还具有处理不同基材和材料的有效冷却解决方桉。资产还配备了一系列自动化功能,这些功能可提高生产率、缩短对齐时间并提供高效的数据收集。