二手 AXCELIS / FUSION Microlite #138918 待售

AXCELIS/FUSION Microlite是一种曝光设备，用于精确阵列微电子器件，包括半导体集成电路、LSI/VLSI器件、MEMS（微机电系统）、印刷电路板等相关器件。该系统旨在提供制造最具挑战性的部件所必需的关键功能,同时又具有成本和空间效率。FUSION Microlite的紧凑设计、先进的功能和优异的效果证明了其卓越的性能。AXCELIS Microlite单元包括一个集成的低压辐射源和一个高速阴极射线管，为工作表面提供极均匀的光。该灯由可调节的高分辨率的1-4Kw/h功率范围产生。固定的背光能力使整个被照亮的表面具有精确的精度。此外,该机器还具有高度可控的光强度、角度和扩散特性,可提供最佳的阵列和像差功能。其他一些集成功能增强了Microlite的性能。其先进的计算机控制程序使工具操作员变得友好，并允许用户定义的模式和设计。利用自动化的轻型电源控制和内置的缓解资产,进一步优化了模型的性能和寿命。集成冷却设备可确保在整个使用过程中保持一致的散热性能。AXCELIS/FUSION Microlite的电动线轴提供了极精确、高精度的曝光。其均匀的运动能力允许精确的可重复性以及速度控制，并使其易于在不同的可编程模式曝光之间快速切换。此外,运动的平滑度确保即使是最复杂的模式也能得到一致、准确的结果。FUSION Microlite系统提供了极致的经济性和技术性能。其先进的特点和紧密集成的性能使其成为微电子行业中的高效工具。其卓越的性能和成本效益使其成为任何微电子设计或工艺的理想解决方桉。